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用小挠度方形膜作为理论模型,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)敏感薄膜的硅压敏电阻变化率新型积分计算方法.针对传统中心点计算方......
提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了......
设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺.陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测.主梁、微梁-质量块......
工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质(如化学上的惰性、高的杨氏......
介绍了微压式液位传感器的工作原理、总体结构设计及热灵敏度漂移的补偿技术与方法,给出了补偿结果,验证了补偿技术与方法的有效性......
压阻式微机械陀螺是MEMS研究的重要方向之一,有效的接口电路是发挥陀螺性能的重要保证。用数学方法完整地推导了陀螺驱动和信号检......
提出了一种结构简单,制造工艺容易实现的硅微机械二维倾角传感器结构设计,它由蝶形质量块和连接它们的四个成十字形的硅应变梁以及......
为了研究磁致伸缩/压阻块状复合材料的磁阻性能,采用Terfenol-D磁致伸缩材料和单晶硅压阻材料层状复合,制备了复合磁阻材料.使用霍......
介绍一种适用于中等压力测量的双恒流压阻技术。该技术把原用于高压测量的Ｈ型或双π型等低阻值锰铜压阻计的量程向中压段扩展到０．２ＧＰａ左右......
本文使用纳米压痕技术测试了聚[2-甲氧基-5-（3′,7′-二甲基辛氧基）-1,4-苯乙炔]（MDMO-PPV）的机械性能,发现MDMO-PPV薄膜的杨氏模量与......
Nanosensitive mechanical microprobes with CMOS transistors, inverters, inverters cascades and ring oscillators, integrat......
探讨了单轴压力下钙放Ｌａ－Ｓｒ－Ｍｎ－Ｏ系列材料的电、磁性质、通过实验，观察到可以与其本征巨磁阻相比拟的单轴压电阻。比较磁阻与压阻行为，可以预示......
